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1. 集成电路技术的应用. 将硅集成电路技术应用于磁敏传感器, 制成集成磁敏传感器;
2.InSb 薄膜技术的开发成功,使得霍尔器件产能剧增,成本大幅度下降;
3.强磁体合金薄膜得到广泛应用.各种磁阻器件出现,应用领域广泛;
4.巨磁电阻多层薄膜的研究与开发.新器件的高灵敏度,高稳定性,引起研制高密度 记录磁盘读出头的科技人员的极大关注;
5.非晶合金材料的应用.与基础器件配套应用,大大改善了磁传感器性能;
6.Ⅲ—V 族半导体异质结构材料的开发和应用.通过外延技术,形成异质结构,提高 磁敏器件的性能。
国外磁敏传感器的现状
1.国外磁传感器的常见种类 就市场占有情况来看,国外磁敏传感器主要品种依然是霍尔元件,磁阻元件.近期的 巨磁阻元件也有良好的发展空间.
2.外磁传感器的代表厂商: 霍尔元件:日本旭化成;日本东芝;美国 Honeywell 公司;美国 Allogro 公司. 磁阻器件:日本 SONY 公司;荷兰 PHILIPS 公司.
3.国外磁传感器的应用情况 磁敏传感器应用的最大特点是无接触测量.
霍尔元件: 磁场测量,做高斯计(特斯拉计)的检测探头. 电流检测,做电流传感器/变送器的一次元件. 直流无刷电机,用于检测转子位置并提供激励信号. 集成开关型霍尔器件的转速/转数测量.
强磁体薄膜磁阻器件: 位移传感器,主要有磁尺的线性长距离位移测量. 角位移传感器,主要用语转动角度测量,广泛应用于汽车制造业.
脉冲发讯传感器,主要用于流量检测和转速/转数测量,如电子水表和流量计的发讯传 感器.
半导体磁阻器件: 主要是 InSb 磁阻器件 微弱磁场检测,主要用于伪钞识别 脉冲测量,主要用于转速/转数测量
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