利好中国芯片产业!不用光刻机也能产5nm芯片

发布时间:2023-10-16 阅读量:910 来源: 综合网络 发布人: bebop

10月16日消息,佳能(Canon)公司近日发布新闻稿称,开始销售芯片生产设备 FPA-1200NZ2C,表示采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造 5 nm 芯片。佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同,并非光刻,而更类似于印刷,该设备能够将理论中的芯片图案,以“盖章”的方式实现转移。这套设备可以应用于最小 14 平方毫米的硅晶圆,从而可以生产相当于 5nm 工艺的芯片。


佳能表示会继续改进和发展这套系统,未来有望用于生产 2nm 芯片。官方消息显示,佳能早在2004年开始秘密研发NIL技术,2014年美国分子压印公司(现佳能纳米技术)加入佳能集团,该研发消息才被公开。


资料显示,传统的光刻机需要把芯片图案投射在涂抹光刻机的晶圆表面,整个过程离不开光源,可以理解用光作为刻刀,雕刻出芯片线路图。但纳米压印以物理手段,将几纳米的栅极电路复制在模板中,然后再脱模得到芯片。


相对于传统的光刻技术,纳米压印具有显著优势,纳米压印的制程简单,无需复杂的光刻设备和化学材料,从而降低了制造成本。使用纳米压印制造芯片,成本的降低幅度可达四成,并节省九成电量。


这一设备或将有利于中国芯片产业,众所周知,一直以来,荷兰ASML公司都被限制不能向中国大陆客户出货EUV光刻机,这也导致中国在高端光刻设备上的供应短缺。


对于中国芯片产业而言,面临着供应商垄断问题的依赖外国光刻机制造商的局面,加剧了自主创新的迫切性。因此,突破EUV光刻机领域的技术封锁,成为中国芯片产业重要的发展方向。


佳能研发的纳米压印技术为中国芯片产业提供了一个新的发展思路,纳米压印极具商业发展潜力,它所表现出来的优势足以超越传统的光刻机,有望成为未来芯片制造领域的支柱,并进一步加快中国半导体产业解开镣铐的进程。

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