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【技术大咖测试笔记系列】之七:2601B-PULSE让VCSEL设计人员更有信心
发布时间:2021-09-24 阅读量:459 来源:泰克科技 作者:我爱方案网汇编

作者:泰克科技技术大咖


夜深了,你正开车回家。你很累,想赶紧上床睡觉。突然,路中间出现了一个庞然大物。汽车紧急制动,防止撞上动物,同时防止脱离道路。通过光线检测和定距技术,也称为LIDAR,您的汽车成功地防止了一起车祸。


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LIDAR是一种3D传感技术,采用各种波长的脉冲式激光,测量可变距离,检测车辆前方、后方或侧面的物体。LIDAR系统的核心是垂直腔表面发射激光器(VCSEL),这种半导体器件从顶部表面垂直发射激光。VCSEL从表面垂直发出光,使其成为LIDAR系统的完美器件。


VCSEL的优势之一,是能够在半导体晶圆上制造,可以简便地测试电气性能和光学性能。此外,由于LIDAR系统在阵列中要求数千个单独的VCSEL来执行关键事务型应用,因此必须在生产工作流程的各个阶段执行有效测试。通过各阶段测试,可以在早期剔除不良VCSEL,让结果更可预测,让良品率更可控,并降低铸造成本。


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那么问题来了:VCSEL测试面临着一长串挑战,而且挑战只会随着技术进步不断提高。这篇博文意在更深入地考察这些挑战,以及泰克科技旗下公司吉时利最新推出的2601B-Pulse脉冲器/SMU仪器可以怎样帮助设计人员克服这些挑战。


使用传统SMU进行VCSEL测试的挑战


设计人员通常使用传统仪器测试VCSEL,如源测量单元(SMUs),但随着技术不断进步,测试挑战数量正不断增多。下面是其中五个最大的挑战。


第一,LIDAR使用的VCSEL要求更高的功率,因此需要更高的测试电流。引入更高的测试电流因自热提高了器件损坏的风险,在晶圆上测试时,这可能会成为问题,因为它会严重降低良品率。


第二,要求在晶圆上进行脉冲电流测试,以使器件热量达到最小,一般要求几十微秒的脉宽及一位数微秒或以下的上升时间。


第三,测试系统中使用的电缆长度及相关电感影响着仪器提供干净的、快速上升时间、无过冲、无下冲的脉冲的能力。


第四,对LIDAR应用,VCSEL通常被驱动到高达10A,包括在阵列中。但巨大的挑战是生成短脉冲,短达10微秒,且上升时间非常短,通常不到2微秒。这一点非常关键,因为90%以上的VCSEL客户要求脉冲电流波形稳定,以保证光峰值功率、近场和远场测量的准确度。


第五,遗憾的是,并不是所有脉冲器/SMU仪器都会输出高质量脉冲。某些仪器容易过冲,上升时间长,下降时间长。许多仪器要求手动调谐来改善脉冲波形形状,特别是在为VCSEL提供电流脉冲时,其电感可能会在不同器件之间及因测试电缆电感而变化。


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在电流以非常小的脉宽发送脉冲时,某些SMUs容易过冲,下降时间长。


最首要的,即使在特定电流电平下调谐脉冲输出,仍不能保证手动调谐可以得到一致的脉冲波形,特别是在测试脉冲式IV幅度扫描的VCSEL时。某些脉冲器/SMU解决方案要求大量的调谐参数,如带宽、补偿频率、零极点、负载阻抗和上升时间。但在生产测试中,在车间里调谐脉冲输出要么不方便,要么效率差。因此,行业一直要求泰克/吉时利这样的公司开发速度更快、电流更高的源和测量设备,以便提供他们所需的性能。


客户就这些问题与我们分享了许多关注事项,告诉我们:


我们需要更短的电流脉冲,低达10μs,但电流高达10A;

我们必须使脉宽达到最小,以提供更高的电流测试VCSEL和阵列;

我们不能容忍器件变热,甚至可能烧毁探头尖端;

电流脉冲的任何过冲都可能会导致器件损坏;

我没时间不断调谐来获得最好的脉冲输出;

如果波形不是高保真波形,那么可能会导致表征错误,进而导致良品率差及现场故障;


吉时利脉冲器/SMU解决方案


为应对客户反馈的挑战,吉时利最新开发了2601B-PULSE系统源表10μs脉冲器/SMU仪器。最新2601B-PULSE采用脉冲表技术,是一种业界领先的高电流/高速脉冲器,提供了传统SMU的测量及全部功能。这种最新脉冲器在10V时提供了领先的10A电流脉冲输出,支持最低10μs脉宽,特别适合测试LIDAR中使用的VCSEL、照明和显示器中的LED,以及半导体器件表征、浪涌保护测试等。


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吉时利最新推出的2601B-PULSE系统源表10μs脉冲器/SMU仪器


脉冲器内置1M样点/秒(MS/s)18位模数转化器,可以同时采集脉冲电流和电压波形,而无需使用单独的仪器。2601B-PULSE是一种强大的解决方案,明显提升了各种应用中的生产效率,如台式表征及高度自动化脉冲式I-V生产测试。


这种新型仪器最具创新性的功能是不要求手动调谐,不管电流幅度是多少,也不管电感负载高达3μH。在输出电流脉冲时,线缆和电感可能会成为难题。电感可能会有限制效应,甚至会带来损坏。电感在不同器件之间通常是不同的,即使是在测试晶圆上的激光二极管时。电感对电流源的影响在于,电感会阻止电流变化。这会导致电流源提高输出电压,在脉冲稳定时导致过冲和振铃,而这在测试中是不可接受的。


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被测器件和测试系统电缆中的电感可能会影响输出电流脉冲的质量。


如前所述,某些解决方案要求调谐以补偿这些行为,可能会耗费很长时间。2601B-PULSE的控制环路系统对10A以下任何电流3μH以下负载变化不需要手动调谐,因此在输出10μs~500μs脉冲时没有过冲和振铃。这保证了快速上升时间,可以为器件提供电流脉冲,正确表征器件或电路。在通过多个幅度扫描脉冲时,如VCSEL脉冲式LIV测试扫描中,这一点异常重要。下图显示了各种电流幅度时的高保真电流脉冲输出及2601B-PULSE的电感负载。


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使用2601B-PULSE时0μH、1μH、3μH负载上的10A脉冲输出。


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使用2601B-PULSE时0μH、1μH、3μH负载上的1A脉冲输出。


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使用2601B-PULSE时0μH、1μH、3μH负载上的0.1A脉冲输出。


很明显,2601B-PULSE提供了业界领先的电流脉冲输出性能,消除了手动调谐,而在高速自动探测系统中测试晶圆上的VCSEL时,手动调谐效率很差。上图清楚地显示了您可以满怀信心地测试,而不管电流电平及不同电感负载,可以实现可重复的性能和上升时间。这款新仪器提供了许多好处:


使用一台仪器进行DC/脉冲电流和电压测量;

满怀信心地表征VCSEL,帮助您开发下一代材料、元器件和模块;

不需要手动调谐脉冲输出,保证高脉冲保真度,缩短测试时间,节省生产成本;

最大限度地减少器件自热,减少探头尖端烧毁的风险,从而保护VCSEL、VSCEL阵列和LED;

测量最低一位数μs的采样率,同时计算10V时10μs、10A电流脉冲;


您正面临着哪些测试挑战?


您是否装备充足,可以表征LIDAR使用的VCSEL或者其他光电器件?您是否准备好克服这些不断进化的器件提出的不断增长的挑战?欢迎与我们沟通您的脉冲测试应用,讨论最新2601B-PULSE可以怎样帮助您解决挑战。请与我们的应用工程师联系,或访问2601B-PULSE产品页面了解更多信息。


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