电容式位移传感器

发布时间:2012-12-16 阅读量:1651 来源: 我爱方案网 作者:

        我们都知道电容式传感器具有耗散功率小,输出阻抗低,静电引力小,动态性能好,灵敏度高,可实现非接触测量,对高温、辐射、强振等恶劣条件适应性强等优点,已被广泛用于位移、振动、角度、加速度、压力、差压、液面、水分含量等方面的测量。我们就在电容式传感器的基础上为大家介绍一下电容式位移传感器

                                                                电容式位移传感器
                                                                          电容式位移传感器

电容式位移传感器的简介

     电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

电容式位移传感器的应用范围

    主要用于解决下述各种测量问题: 压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。

                                                                            电容式位移传感器
                                                                               电容式位移传感器

        变面积式电容传感器,它由两个电极构成,其中一个为固定极板,另一个为可动极板,两极板均成半圆形。假定极板间的介质不变(即电介质常数不变),当两极板完全重叠时,其电容量为 :Co=⊿A/d

        当动极板绕轴转动一个α角时,两极板的对应面积要减小⊿A,则传感器的电容量就要减小⊿C。如果我们把这种电容量的变化通过谐振电路或其它回路方法检测出来,就实现了角位移转换为电量的电测变换。

       电容式位移传感器的位移测量范围在1um—10mm之间,变极距式电容传感器的测量精度约为2%。变面积式电容传感器的测量精度较高,其分辨率可达0.3um。

        简单地说:由于寄生电容,生产工艺,电容检测电路输出信号与电容大小呈现非线性等影响,使得电容式传感器的分辨率和测量范围受到很大的限制。那么设计一种能改善电容式传感器电容检测电路非线性的电路,研究可增大电容式传感器检测范围的检测方法,以及电容式传感器特性曲线拟合的研究非常必要。以上就是为大家介绍的电容位移传感器希望能给大家带来帮助!
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