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采用涡流法测量系统,利用电磁感应产生的涡流来测量电阻。以下方案供参考,如有其他非涡流法或改进方案也可交流。
探头单元由一对上下探测芯组成,它们的距离固定。
<1>通过在探头铁芯之间增加高频来产生磁通量。当将样品插入这个磁通量时,会在样品中产生涡流。涡流将沿着通过电磁感应阻止磁通量变化的方向流动。
<2>通过探测涡流对磁通量的改变量,推荐电阻率相关值。
<3>根据样品的厚度修正,计算准确的电阻率值。
指标要求:
电阻率: 0.1~20 ohm.cm
电阻率重复性: 1%(<2 ohm.cm), 3% (≥2 ohm.cm)
工作环境: 半导体厂工业环境,有大电机运转
测试时间: 0.01s/数据点(最快),可设置平均时间
测试点直径: 15mm
要求:
有过涡流法测试项目经验,加微信后请发案例材料。
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