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(1)该电路板能够产生16路输出的信号源,信号源的频率为13.56MHz的正弦波,并且每一路信号的相位都能相对于一个基准独立可调,移相范围在0-360°,移相精度在0.1°以下,移相功能能够通过上位机对其进行控制,这些信号作为锁相环的基准信号。
(2)该电路板具有锁相环功能,锁相环的输出信号能够作为射频电源的基准信号,使射频电源输出的功率信号与基准信号同步,频率为13.56MHz。并且该锁相环能够将负载的反馈信号与基准信号相比较,进行闭环调节。
(3)该电路板可以完成对射频电源的控制、对负载内气体压力检测、控制电机调节负载内部谐振、能够监测负载反馈信号是否存在、监测锁相环是否工作正常等。
(4)射频控制电路板能够与上位机进行实时通讯,并将实时数据上传到上位机,数据包括负载内部气体压力、电机位置信号、锁相环是否在正常工作状态、负载反馈信号是否存在等。
(5)射频控制电路板与射频电源接口为BNC。
(6)射频控制电路板与上位机的连接端口可自己选择。
(7)射频控制电路板供电电压为DC12V。
(8)射频控制电路板可以恒态稳定运行。
(9)该电路板用于大型设备上,设计成功后,可能需要来现场调试,地点在北京。
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