射频电源有哪些部分组成？其工作原理及主要应用

射频电源(RFgenerator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。为帮助大家深入了解，本文将对射频电源的相关知识予以汇总。

射频电源构成部件

主要由5部分组成：直流供电电源模块，震荡电路模块，功率放大模块，射频功率检测模块，射频互锁控制模块。

（1）直流电源模块是为电源内部控制线路板供电，包括 24V、15V等电压；

（2）震荡电路模块为晶体震荡部分，产生 13.56MHZ的正弦波信号；

（3）功率放大模块是几个固态晶体管组成，主要目的是把高频信号，进行功率放大，使得输出功率达到输出要求；

（4）射频功率检测模块：主要为检测控制电路，通过高频测量电感检测入射功率，反射功率，把该信号提供给主控制板， 实现自动PID控制；

（5）射频互锁控制模块：主要为开关信号模式，可提供安全互锁功能，比如射频输出线互锁，高压互锁，射频输出互锁，过温互锁等控制功能。

其中，固态功率放大器简单点说就是把具有放大作用的电路，集成封装在一起，起到放大信号作用的模块。

射频电源工作原理

射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。有线电视系统就是采用射频传输方式。

在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体周围会形成交变的电磁场，称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100khz时，电磁波可以在空气中传播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频，射频技术在无线通信领域中被广泛使用。

射频芯片指的就是将无线电信号通信转换成一定的无线电信号波形，并通过天线谐振发送出去的一个电子元器件，它包括功率放大器、低噪声放大器和天线开关。射频芯片架构包括接收通道和发射通道两大部分。

射频电源的应用

射频电源目前主要被用来在低压或常压下产生等离子体。由于不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果，如半导体设备中的去胶机；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要，如半导体设备中的刻蚀机。射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。